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先看下图所示的气缸，该气缸有三个通口，除了进气、排气口外，还多了一个小号的通口，如图中红箭头指示。这是什么气缸？多出的小号通口是有什么用？

这个是典型的洁净型气缸，SMC的10/11-CQ2系列。那么什么是洁净型气缸呢？记得在培训中曾不止一次问过这个问题，学员中知道的还真不多。甚至有不少学员想当然地认为，洁净型气缸应该就是使用洁净压缩空气的气缸。其实，所谓洁净型气缸，是指在洁净室内使用的气缸。这种气缸的发尘率极低，可在等级100的洁净室内使用，而不会污染洁净室的空气。

大家知道，气缸作往复运动，导向套和杆密封圈不可能没有磨损，磨损还会发生空气泄漏而污染洁净室的。洁净型气缸通过在杆侧缸盖内设置2层密封结构，将活塞杆部位因磨损产生的灰尘，从溢流口（上图中红色箭头所指示的小号通口）直接排出洁净室外，保证室内不受污染。

洁净型气缸有溢流式（10-系列）和真空式（11-系列）两种。下图是溢流式气缸，在气缸的杆侧缸盖上设有两层密封圈，允许从溢流通口经配管直接向洁净室外排出可能已被污染的空气，灰尘发生量可臧少至常用气缸的1/20。

上图所示气缸结构与上图完全相同，只是将外侧活塞杆密封圈取下，真空口受真空吸引，把外界空气从杆与缸盖之间的缝隙吸入，故外界的灰尘也几乎没有了。用于要求比10-系列的沽净度要求更高的场合。